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美國FSM 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備：在襯底鍍上不同的薄膜后, 因?yàn)閮烧卟馁|(zhì)不一樣，以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會(huì)引起應(yīng)力。 如應(yīng)力太大會(huì)引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應(yīng)力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計(jì)算出應(yīng)力, 是品檢及改進(jìn)工藝的有/效手段。

美國FSM 高溫薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備：美國FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設(shè)備。

StrainScope Flex可調(diào)式實(shí)時(shí)應(yīng)力儀 產(chǎn)品具有測量速度快、精度高、重復(fù)性好等特點(diǎn)，對(duì)大尺寸樣品可拼接測量。其應(yīng)力測量設(shè)備用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應(yīng)用領(lǐng)域包括光學(xué)材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。

實(shí)時(shí)型StrainScope S3/S4 應(yīng)力儀 產(chǎn)品具有測量速度快、精度高、重復(fù)性好等特點(diǎn)，對(duì)大尺寸樣品可拼接測量。其應(yīng)力測量設(shè)備用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應(yīng)用領(lǐng)域包括光學(xué)材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。

拼接型StrainMatic stepper應(yīng)力儀 產(chǎn)品具有測量速度快、精度高、重復(fù)性好等特點(diǎn)，對(duì)大尺寸樣品可拼接測量。其應(yīng)力測量設(shè)備用戶廣，用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應(yīng)用領(lǐng)域包括光學(xué)材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。

德國ilis公司成立于1998年，專業(yè)研發(fā)制造高精度應(yīng)力雙折射分析軟件與測量設(shè)備，薄膜應(yīng)力測試儀采用成像式光彈原理，直接測量光延遲，可以快速給出高分辨率的高精度測量結(jié)果。